世界初、350℃の高耐熱性能を有する半導体製造装置用Ｏリングを開発

　エア・ウォーターと、エア・ウォーター子会社でＯリング等のシール材を製造・販売するエア・ウォーター・マッハ（本社：長野県松本市、代表取締役社長：都築 康彦）は、Ｏリング業界では世界で初めて、350℃の高耐熱性能を有するパーフルオロエラストマー（FFKM）製Ｏリングの開発に成功し、この新材料・新製法を用いた半導体製造装置用Ｏリングの販売を開始する。製造・販売元となるエア・ウォーター・マッハにおいて、2018年9 月からサンプル供給を開始し、2019 年1 月から量産を開始する。

　エア・ウォーター・マッハは、各種産業機械等のシール材として使用される「Ｏリング」の総合メーカー。Ｏリングの材料となり得るゴムの特性は、弾性に優れ、圧縮永久歪がよく、耐摩耗性に富み、耐熱性に優れ、適用される液体や気体に侵されることなく、寿命が長いことにある。しかしながら、これら全ての条件を満たす材料は存在しないため、Ｏリングの使用用途に応じた材料を選択する必要がある。特に、半導体製造装置に使用されるＯリングは、各種プラズマに曝されるなど、過酷な化学環境の下で使用されるため、高い耐熱性、耐薬品性、耐プラズマ性が求められる。
　エア・ウォーター・マッハは、パーフルオロエラストマー（FFKM）を材料とする高機能Ｏリングを得意とする製造・加工メーカーで、R.Pororoca（ポロロッカ）」のテクニカル・ブランドで半導体製造装置用Ｏリングの製造・販売を行っている。今回、①ポリマー材の選定、②新たな硬化材の導入、③新製法・新評価技術の採用を構成要素とする“新製造システム”によって、350℃の高耐熱性能を有するパーフルオロエラストマー（FFKM）製Ｏリングの開発に成功した。

　現在、世界で市販されている超高温用のＯリングでは、325℃前後がその耐熱性能の目安とされているが、近年、半導体プロセスの高度な微細化が進むにつれ、半導体製造装置のシール材には更に高い耐熱性能が要求されるようになっている。新たに開発したＯリングは、最大350℃の耐熱性能を有し、且つ、現在、関連市場からの要求度が高い 300℃の長期連続使用下（1 ヵ月間）においても、Ｏリングとしての基本特性である圧縮性能や力学的強度等を保ち、安定したシール性能を発揮することから、高い耐熱性能が要求されるドライエッチングやＡＬＤ（原子層堆積）の排気系シール材に適している。
　新たに開発したＯリングを使用することによって、超高温域の使用環境下であってもＯリングのシール性能が低下する変形、崩壊、クラック等の発生が大幅に抑制されることから、Ｏリングの交換に要するメンテンス頻度の削減（設備稼働率の向上）が進み、半導体製造コストの大幅な低減に貢献する。

【エア・ウォーター・マッハ株式会社の概要】
設立 ： 1969 年4月
本社 ： 長野県松本市梓川倭4009 番地
資本金 ： 2 億9,995 万円
代表者 ： 代表取締役社長 都築 康彦
事業内容 ： 工業用ゴム製品および樹脂製品の製造販売等
工場 ： 本社工場（長野県松本市）、大連工場（中国遼寧省大連市）、福建工場（中国福建省福清市）
売上高 ： 100 億円（2018 年3 月期・連結）
従業員数 ： 260 名（2018 年3 月31 日現在）
株主 ： エア・ウォーター株式会社 100％