2024年3月27日 / 最終更新日時 : 2024年3月29日 ガスペディア 半導体 ギガフォトンが最新ArF液浸光源機種「GT80A」を出荷 半導体リソグラフィの最先端ノード量産で高い生産性をサポート 半導体リソグラフィ用光源メーカーのギガフォトンは2024年3月27日、新型のArF液浸露光装置用光源「GT80A」を出荷したと発表した。 最先端デバイス製造 […]
2019年3月25日 / 最終更新日時 : 2019年3月25日 ガスペディア イノベーション 大陽日酸、導電性フッ素樹脂コーティング材開発に成功 大陽日酸は、ステンレスタンクなどの基材表面に導電性を持ったフッ素樹脂コーティング膜を形成することが可能な導電性フッ素樹脂コーティング材の開発に成功した。 半導体分野や化学分野においては、酸塩基液体あるいは有機溶剤のよ […]
2018年9月4日 / 最終更新日時 : 2019年2月19日 ガスペディア イノベーション 業界最高水準の高耐熱性能を有する汎用フッ素ゴム(FKM)製のOリング開発 エア・ウォーター子会社で、Oリング等のシール材を製造・販売するエア・ウォーター・マッハ(本社:長野県松本市、代表取締役社長:都築 康彦)は、汎用フッ素ゴム(FKM)と、スーパーグロース法による日本ゼオン社製の単層カーボ […]