新コスモス電機、半導体⼯場向けガス検知警報装置用コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」発売

センサユニット交換だけで現場のガス校正が不要な「コスモス式」採用

　ガス警報器・検知器メーカーの新コスモス電機は、半導体⼯場向けガス検知警報装置用コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」を2024年7月31日（水）に発売した。

　「PS-8」は、メインユニットにサブユニットや拡張ユニットを追加することで、ユーザーが必要なガス種を必要な分だけ増設できるなど、顧客のニーズに応じたフレキシブルな監視が可能となった。また、長年培ったガスセンサ技術を活かし、ガス検知部のコアとなるガスセンサの性能向上を実現。さらに大型液晶で視認性を高めるなど、ユーザビリティがアップしている。

　半導体製造工場では製造工程において、人体に危険な特性を持つ多種多様なガスを扱っており多数のガス検知警報装置の設置が必要になる。また、一般高圧ガス保安規則関係例示基準では、「特殊高圧ガスに係るガス漏えい検知警報設備の指示値の校正は､6ヶ月に1回以上行うこと｡」と定められている。

　新コスモス電機では、半導体工場向けガス検知部として1997年に「PS-6」、2003年に前身機種である「PS-7」を開発。この製品シリーズは、校正済みのセンサユニットを交換するだけで現場でのガス校正が不要で、メンテナンスの手間やランニングコストを低減できる「コスモス式」を業界に先駆けて採用した。その特徴が好評で、国内だけにとどまらず海外の半導体工場でも多数採用されている。

PS-8シリーズの特長

熱線型半導体式水素化物センサ*で長寿命化

世界初の独自の熱線型半導体式センサでSiH₄（シラン）を高感度検知
センサの長寿命化によりガスセンサユニットの交換周期が延び、ランニングコストを削減
　従来は水素化物の検知に電気化学式センサを使用しており、センサ寿命は1年程度。水素検知の実績を多く持つ独自の熱線型半導体式センサで、世界で初めて水素化物の検知が可能となり、これによりセンサの長寿命化（最長5年間）を実現した。

*近日発売