新コスモス電機、半導体製造工場向け硫化カルボニル(COS)用センサを発売

コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」の新ラインナップ、熱分解コンバータとパージフィルタが不要

　新コスモス電機は、半導体⼯場向けのガス検知器であるコスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」に搭載するガスセンサ「CDS-7シリーズ」の新ラインナップとして硫化カルボニル(COS)用センサを開発し、2025年10月1日（水）より発売を開始した。

　半導体製造工場では製造工程において、人体に危険な特性を持つ多種多様なガスを扱っており多数のガス検知警報装置の設置が必要になる。また、一般高圧ガス保安規則関係例示基準では、「特殊高圧ガスに係るガス漏えい検知警報設備の指示値の校正は､6ヶ月に1回以上行うこと｡」と定められる。
　新コスモス電機では、半導体工場向けガス検知部として1997年に「PS-6」、2003年に「PS-7」、2024年に「PS-8シリーズ」を開発。この製品シリーズは、校正済みのガスセンサを交換するだけで現場でのガス校正が不要で、メンテナンスの手間やランニングコストを低減できる「コスモス式」を業界に先駆けて採用した。

　このコスモス式で使用されているガスセンサの中でも、三フッ化窒素（NF3）や硫化カルボニル（COS）についてはガスの特性上、ガスを検知する前に熱分解をする必要があり、その熱分解をするための装置（熱分解コンバータ）は、装置自体がガス検知部と同じかそれ以上の大きさになる場合もあった。また、メンテナンスに使用されるアルコールや装置で使用（補充）される熱媒体にガスセンサが干渉しないよう前処理するフィルタ装置も一緒に設置する必要があるなど、他のガス種よりガス検知部の設置面積が大きい。半導体工場では、数百台以上のガス検知部が設置されることもあり、設置場所の確保に大きな課題があった。
　新コスモス電機は、2019年にNF3用として熱分解コンバータが内蔵され一体型となった触媒転化式定電位電解式センサを初めて開発し、サイズや機能は他のガス用センサと同じで、熱分解コンバータに必要なスペースが不要となり、省スペースを実現した。今回、この技術を応用し、「CDS-7シリーズ」の新たなラインナップとして硫化カルボニル(COS)用センサを発売した。