2008年12月3日 / 最終更新日時 : 2021年1月10日 産業ガス・医療ガス 半導体 岩谷産業と京大、プラズマレスで高速異方性エッチングや平坦化加工技術を開発 京都大学松尾准教授と岩谷産業は共同で、プラズマレスで半導体やMEMS向け高速異方性エッチングや平坦化加工を実現する「ClF3ガスクラスターエッチング」技術を開発した。 ■本技術の原理 本技術は、ガスを事前に放電させず […]
