2025年5月20日 / 最終更新日時 : 2025年5月20日 ガスペディア イノベーション β型酸化ガリウム結晶の高精度 n 型ドーピング技術を独自の有機金属気相成長法で実現 安全な Si 源としてテトラメチルシランを採用、MOVPE 法で Si をドープした β-Ga2O3 を成長 東京農工大学 大学院工学研究院応用化学部門の熊谷義直教授らのグループは、大陽日酸の吉永純也氏ら、奈良女子大学 […]
