2020年3月20日 / 最終更新日時 : 2020年3月24日 ガスペディア イノベーション 大陽日酸が金属有機構造体による窒素中微量水分計の開発に成功 大陽日酸は、水分の吸着・脱離に応じて光学特性が変化する金属有機構造体の性質を用いた窒素中微量水分計の開発に成功した。 半導体の製造をはじめとした多くの産業に使用される高純度ガスは水分が混入すると、水分によ […]
