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除害装置

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Blisters Burner H 2
2024年6月10日 / 最終更新日時 : 2026年1月13日 ガスペディア 半導体

大陽日酸、水素燃焼式排ガス処理装置「Blisters Burner H2」の販売開始

半導体分野向けにカーボンフリーで除害  大陽日酸は、水素(H2)ガスを燃料にすることで燃料由来の温室効果ガスを排出しない、半導体分野向け排ガス処理装置の販売を2024年4月より開始した。  日本のエネルギー基本計画におい […]

2019年4月23日 / 最終更新日時 : 2019年4月23日 ガスペディア 半導体

昭和電工、除害装置性能評価の温室効果ガス分析・計測サービスを開始

 昭和電工(森川 宏平 社長)は、半導体や液晶パネルなどの製造工程で排出される各種有害ガスを処理する除害装置において、除害装置の性能を評価する温室効果ガスの分析・計測サービスを開始する。  半導体や液晶パネルの製造工程で […]

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