2020年3月12日 / 最終更新日時 : 2020年3月25日 ガスペディア イノベーション 大陽日酸がALDプロセス向け高濃度過酸化水素ガス供給装置を販売 大陽日酸とグループ会社のRASIRC Inc.(CEO:Jeffery SPIEGELMAN、本社:米国カリフォルニア州)は、高速で高品質な酸化膜ALD(Atomic Layer Deposition)プロセスを提供で […]