2022年3月1日 / 最終更新日時 : 2022年3月1日 ガスペディア イノベーション 大陽日酸など、世界で初めてHVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功 パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献 大陽日酸は、国立大学法人 東京農工大学、株式会社ノベルクリスタルテクノロジーと共同で、HVPE 法による6 インチウエハ上の酸化ガリウム成膜に世界で初めて成功した […]
