昭和電工、中国四川省に電子材料用高純度ガス事業の合弁会社を設立

「成都科美特昭和電子材料有限公司」中国の需要拡大に対応

　昭和電工株式会社（森川宏平社長）は、電子材料用高純度ガス事業強化のため、中国の成都科美特特種気体有限公司と合弁で「成都科美特昭和電子材料有限公司」を四川省成都市に設立、2021年1月に営業を開始する。新会社では主に半導体の製造工程で使われる高純度FC-14(テトラフルオロメタン、以下CF4)の最終製造工程を担う。

　昭和電工の電子材料用ガスの主力製品の一つであるCF4は、量産使用からすでに40年以上が経過している、電子材料用ガスの中では最も基本・基礎的なエッチング用ガス。取り扱いの容易さに加え、ますます進む微細化加工にも適しており、また半導体向けだけでなく有機EL製造工程などでの使用も拡大していることから、今後も堅調に需要が増加していくと見込まれている。

　今回の事業強化策により、昭和電工のCF4事業は、稼働中の川崎事業所（神奈川県川崎市）に、新会社を加えた2拠点体制となる。グループは、東アジア地区におけるCF4の安定供給の強化を実現し、今後も戦略事業である半導体プロセス材料事業の一層の拡充を図る、としている。