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大陽日酸と米国ノースカロライナ州立大学が、MOCVD 装置による共同研究で合意

 大陽日酸は、米国の North Carolina State University(ノースカロライナ州立大学)に1台目となる同社製 MOCVD 装置を納入し 、3年間の共同研究契約を締結した。

 米国ノースカロライナ州立大学は、ワイドバンドギャップ半導体の材料やデバイスの研究において世界でも最先端の大学であり、ワイドバンドギャップ技術の開発と商業化において国際的なリーダーシップを発揮している研究機関となる。

 今回、同大学で1台目となる大陽日酸製の MOCVD 装置(型式:SR2000)が採用され、GaN ベースの先進的なオプトエレクトロニクス、フォトニック、エレクトロニクスデバイスを実現するための手法と装置ソリューションについて、大陽日酸と3年間の共同研究を行うことで合意した。共同研究の目的は、MOCVD 装置を用いて、両者のプロセスおよびデバイスに関する専門知識を融合し、GaN ベースのデバイスエピタキシーおよびデバイスの新たな技術を開拓することになる。

 大陽日酸では、ノースカロライナ州立大学に自社製のMOCVD装置を採用されたのは、MOCVD 装置が先進的な GaN エレクトロニクス製造のためのプラットフォームとして選ばれたためとし、同大学との共同研究を通じて先進的な技術開発に携わることで、MOCVD 装置の優位性をさらに高めるとしている。

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