AI×サステナビリティ×半導体「SEMICON Japan 2025」で半導体材料ガスや関連機器製品を展示

大陽日酸、日酸TANAKA、エア・ウォーターグループが出展規模を拡大

　世界を代表するマイクロエレクトロニクス製造サプライチェーンの国際展示会「SEMICON Japan 2025（主催：SEMIジャパン）」が、2025年12月17日（水）から19日（金）までの3日間、東京ビッグサイト東展示棟4-6ホール、西・南展示棟、会議棟で開催される。展示会出展者数は1,200社・団体を超える見込みで、昨年を上回る規模での開催を予定。DX 時代を支えるエレクトロニクスの製造サプライチェーンを、そのコアとなる半導体を主軸に、車やIoT機器などのアプリケーションまでカバーする。

ガス供給現場での自動搬送ロボット「Cdrive」をデモ走行

　産業ガス業界関連では、昨年13年ぶりに出展した大陽日酸がグループ会社の日酸TANAKAと共同で、出展規模を前回から倍増し、先端半導体プロセスに特化した半導体材料ガスやガスハンドリング機器製品、の紹介を行う。

　今後メモリー製造を中心に需要伸長が見込まれるモリブデンジクロライドジオキサイドなどの固体プリカーサーの製品紹介に加え、窒化膜形成プロセスにおいてプロセス温度の低温化への寄与が期待されるヒドラジン等、先端プロセスに特化した半導体材料ガスを展示する。

「BRUTEⓇ-Hydrazine」容器外観（1,000g 充填用容器㊧と 250g 充填用容器） — 「BRUTEⓇ-Hydrazine」容器外観（1,000g 充填用容器（左）と 250g 充填用容器）

　また、半導体製造工場の生産性向上に向けたソリューションとして、「Intelligent Gas Supplying System（IGSS)」を提案する。IGSS は、重労働、危険作業、人手不足などのガス供給現場での課題を大陽日酸が持つガスハンドリングのノウハウとデジタルテクノロジーを駆使して解決するシステム。本システムを構成する機能の１つである「Cdrive」は、最大 100kg あるガス容器を容器保管庫からガス消費設備まで搬送し、シリンダーキャビネット内で容器の出し入れをおこなう、省力化に寄与した自動搬送ロボットで、ブースでは「Cdrive」のデモ走行も実施する。

IGSS のシステムの一部である「Cdrive」のデモ走行を予定（写真は「SEMICON Japan 2024」での「Cdrive」） — IGSS のシステムの一部である「Cdrive」のデモ走行を予定
（写真は「SEMICON Japan 2024」の「Cdrive」）

　その他、カーボンニュートラル社会の構築に寄与する製品や2025年6月から運用を開始した特殊ガス製品の鉄道輸送についてもジオラマ展示する予定。ブース来場者にはくじ引きを開催し、空クジ無しでグループ会社のサーモス製タンブラーなど豪華景品を用意する。

　共同出展の日酸TANAKAは、独オービタルム社製の配管TIG自動溶接機や半導体用圧力調整器「TORRシリーズ」、3Dプリンタで製造したバックシールド治具「PPAP」を展示実演する。

半導体の高純度配管溶接に最適な溶接電源（写真は「SEMICON Japan 2024」の展示）

エア・ウォーターグループ14社が共同出展

　エア・ウォーターは昨年より小間数を拡大し、グループ合同で半導体産業における「トータルソリューション」の提案力と総合力を展示する。参加するのは、エア・ウォーター㈱・エア・ウォーター・エレクトロニクス㈱・エア・ウォーター・エンジニアリング㈱・エア・ウォーター・パフォーマンスケミカル㈱・エア・ウォーター防災㈱・エア・ウォーター・マッハ㈱・エア・ウォーター・マテリアル㈱・エア・ウォーター・メカトロニクス㈱・タテホ化学工業㈱・日本海水㈱・日本電熱㈱・㈱FILWEL・㈱プリンテック・メカトロ・アソシエーツ㈱の14社。
　出展内容は、Quick Snow（ドライアイススノー精密洗浄装置）とロボットアームの動態展示や使用条件に合わせた最適なバルクガス（酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガス、水素、ヘリウムなど）の供給方法、半導体、液晶などのエレクトロニクス分野において使用される多種多様な特殊ケミカル品や有機金属材料、グループ独自の高耐熱基板材料を用いた半導体パッケージ基板、製造プロセスに欠かせないナノレベルの表面研磨加工を可能にする精密研磨パッド、など。

東横化学、巴商会、鈴木商館、ウエキコーポレーション、高松帝酸、ユタカ、新コスモス電機などが参加　

　産業ガス関連業界では、半導体製造装置の開発を行う東横化学が「TGCM(トータル・ガス・ケミカル・マネジメント)」のコンセプトの基、SiCパワーデバイス用超高温熱処理装置「Ailesicシリーズ」やAPTech社製のプロセスガス用圧力調整器・バルブ、ヘリウムガス（He）回収装置などを出展する。
　ガス供給システムの「Smartシリーズ」や「TMシリーズ」、容器元弁遮断装置を取り扱う巴商会は、山梨県産グリーン水素「HyGI」の活用やインドでの新事業について発表を行う。今年からSEMICON Japan出展を再開する鈴木商館は、供給系配管のコンタミ削減、排気系配管の生成物除去の提案とヘリウムコンプレッサユニットの新製品を出展。ウエキコーポレーションは、Linde社製の高純度スパッタリングターゲットと半導体製造装置向け溶射処理に加えて、東芝製リストバンド型センサMULiSiTENとボンベバルブ開閉器を紹介する。
　フッ素ガス表面処理事業を行う高松帝酸は、ゴム材料への摺動性向上、固着防止やフッ素ガスを使った受託試験をPRする。ガス制御機器のユタカは、ガス混合装置や高純度ガス対応圧力調整器を展示。ガス検知警報器の新コスモス電機がコスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」を出展予定。