2024年5月21日 / 最終更新日時 : 2024年5月21日 ガスペディア 半導体 堀場エステック、レーザーガス分析計「LG-100」を発売 SiF4（四フッ化ケイ素）の分圧変化をリアルタイムに測定 HORIBAグループで半導体事業を担う堀場エステックは、レーザーガス分析計「LG-100」を2024年5月21日に発売した。半導体製造におけるエッチングプロセス […]
