新コスモス電機、半導体製造業界向けポータブルタイプのガス検知器「XPS-7」をリニューアル

三フッ化窒素(NF3)検知が可能なポータブルガス検知器として世界最小サイズ

 新コスモス電機株式会社(JASDAQ上場:証券コード6824、住所:大阪市淀川区三津屋中2-5-4、TEL:06-6308-2111、社長:髙橋良典、資本金:14億6,000万円)は、リニューアルした半導体製造業界向けポータブルタイプのガス検知器「半導体材料ガス検知器 XPS-7Ⅱ」を開発し、2020年8月3日より販売を開始する。

 半導体製造工場の製造工程では、ガス製膜・エッチング・クリーニング等の工程にて高純度な半導体材料ガスが数多く使用されている。半導体材料ガスには特殊ガス、毒性ガスなどの危険なガスも多く、通常ガスボンベはシリンダーキャビネット等に入った状態で管理され、常時監視される。さらに、ガスボンベの交換時や定期点検の際には装置のバルブや配管の漏えい検知用としてポータブルタイプの吸引式ガス検知器が使用されている。

 新コスモス電機では2004年からポータブルタイプの「半導体材料ガス検知器 XPS-7」を販売し、半導体工場内の安全管理に努めてきた。今回、リニューアルした「半導体材料ガス検知器 XPS-7Ⅱ」は、従来の特長や機能はそのままに、新たに半導体製造で使用頻度の高い三フッ化窒素(NF3)の検知が可能となった。NF3検知が可能なポータブルガス検知器としては世界最小サイズ。

「半導体材料ガス検知器 XPS-7Ⅱ」

製品特徴

  1. カセット式のセンサユニットが校正済のため、ユーザー自身がセンサユニットを交換するだけで校正が完了し、ガス検知器を預けての校正が不要。
  2. カセット式のセンサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間、ランニングコストを大幅に削減。
  3. 大きな見やすいデジタルLCD表示で濃度を表示。ガスの濃度変化に応じてアラーム音のスピードが変化し、警報を知らせる。
  4. 乾電池・AC電源の両方で動作可能。AC電源によりメンテナンスなどの長時間連続監視時にも安定した電源供給が可能。
  5. ロガー機能搭載。
  6. コンパクトサイズで持ち運びしやすい小型・軽量設計。