大陽日酸が13年ぶり「SEMICON Japan 2024」に出展

半導体製造工場の生産性向上で「Intelligent Gas Supplying System System（IGSS）」を提案

　大陽日酸は、2024年12月11日（水）～13日（金）に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2024」に出展する。最近の半導体製造における、日本回帰の潮流によるもので13年振りの出展。ブースでは、半導体産業のトレンドや社会課題など様々な「変化」に対応してきた大陽日酸の変遷と半導体産業に対する具体的な取り組みについて紹介する。

　展示ブース内では、半導体製造工場の生産性向上に向けたソリューションとして、「Intelligent Gas Supplying System System（IGSS）」を提案する。IGSSは、重労働、危険作業、人手不足などのガス供給現場での課題をガスハンドリングノウハウとデジタルテクノロジーを駆使して解決するシステム。本システムの一部の「C drive」は、最大100kgある特殊ガス容器と一般容器を、指定場所へ運搬し、容器を出し入れする装置で、ブースでは「C drive」のデモ機を展示する。また、2024年4月に製造設備を増強したレアガスの国内生産状況について紹介するほか、昨今、半導体製造において脚光を浴びている高純度アセチレンの国内初製造となる72L容器のカットモデルを展示する。

IGSS のシステムの一部である『C-drive』のデモ機を展示（画像はIGSS のイメージ） — IGSS のシステムの一部である「C-drive」のデモ機を展示する（画像はIGSS のイメージ）

　カーボンニュートラル関連では、原料の二酸化炭素（CO2）濃度の適用範囲を拡大し、幅広いCO2排出源からの回収を可能にした独自開発の「CO2 回収装置」を紹介する。また、水素ガス（H2）を燃料にすることで燃料由来の温室効果ガスを排出しない排ガス処理装置「Blisters Burner H2」を提案、高効率H2 バーナーにより従来（化石燃料）比で30～50%のエネルギー（投入熱量）削減を実現する。