2022年4月20日 / 最終更新日時 : 2022年4月20日 ガスペディア イノベーション 大陽日酸が東京農工大学へ 酸化ガリウム（Ga2O3）用 MOCVD 装置を設置、稼働開始 大陽日酸は、国立大学法人東京農工大学の熊谷義直教授の研究室に研究開発用 MOCVD装置を設置した。設置されたのは型式FR2000-OXのＭＯＣＶＤ装置で、処理能力は2 インチ径 1 枚。β-Ga2O3基板上への高性能電 […]
2022年3月1日 / 最終更新日時 : 2022年3月1日 ガスペディア イノベーション 大陽日酸など、世界で初めてHVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功 パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献 大陽日酸は、国立大学法人 東京農工大学、株式会社ノベルクリスタルテクノロジーと共同で、HVPE 法による6 インチウエハ上の酸化ガリウム成膜に世界で初めて成功した […]
2021年4月1日 / 最終更新日時 : 2021年4月7日 ガスペディア イノベーション 東京農工大、気相成長（株）、大陽日酸が共同でβ型酸化ガリウム結晶の有機金属気相成長に成功 次世代パワーデバイスによる脱炭素社会実現を加速 国立大学法人東京農工大学（学長：千葉 一裕）大学院工学研究院応用化学部門の熊谷 義直教授、後藤健助教らは、気相成長（株）の町田 英明博士（代表取締役）、石川 真人博士、お […]
