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酸化ガリウム

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MOCVD装置「FR2000-OX」
2022年4月20日 / 最終更新日時 : 2022年4月20日 ガスペディア イノベーション

大陽日酸が東京農工大学へ 酸化ガリウム(Ga2O3)用 MOCVD 装置を設置、稼働開始

 大陽日酸は、国立大学法人東京農工大学の熊谷義直教授の研究室に研究開発用 MOCVD装置を設置した。設置されたのは型式FR2000-OXのMOCVD装置で、処理能力は2 インチ径 1 枚。β-Ga2O3基板上への高性能電 […]

6インチテストウエハ上に成膜した酸化ガリウム薄膜
2022年3月1日 / 最終更新日時 : 2022年3月1日 ガスペディア イノベーション

大陽日酸など、世界で初めてHVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功

パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献  大陽日酸は、国立大学法人 東京農工大学、株式会社ノベルクリスタルテクノロジーと共同で、HVPE 法による6 インチウエハ上の酸化ガリウム成膜に世界で初めて成功した […]

減圧 MOVPE 装置の概略図
2021年4月1日 / 最終更新日時 : 2021年4月7日 ガスペディア イノベーション

東京農工大、気相成長(株)、大陽日酸が共同でβ型酸化ガリウム結晶の有機金属気相成長に成功

次世代パワーデバイスによる脱炭素社会実現を加速  国立大学法人東京農工大学(学長:千葉 一裕)大学院工学研究院応用化学部門の熊谷 義直教授、後藤健助教らは、気相成長(株)の町田 英明博士(代表取締役)、石川 真人博士、お […]

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