2024年2月28日 / 最終更新日時 : 2024年2月29日 産業ガス・医療ガス 半導体 大陽日酸、高純度ヒドラジンガス供給システムを開発 反応性が高く半導体製造プロセスの低温化、膜質向上、スループット改善可能 大陽日酸は、RASIRC※1製BRUTEⓇHydrazine に適応した高純度ヒドラジンガス供給システムを開発した。半導体製造向けに大陽日酸が販売 […]
2023年3月28日 / 最終更新日時 : 2023年3月28日 ガスペディア 半導体 大陽日酸が半導体産業向けに無水ヒドラジン供給ソースの販売開始 RASIRC製「BRUTEⓇ-Hydrazine」、従来製品より低水分化を実現 大陽日酸は、半導体産業向けに供給する無水ヒドラジン材料のRASIRC※1製「BRUTEⓇ-Hydrazine」で、従来製品よりさらに低水分 […]
