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米国の政府系研究機関で2台目となる大陽日酸社製MOCVD装置の採用決定

 大陽日酸は、米国の政府系研究機関である Sandia National Laboratories に、2台目となる同社製 MOCVD 装置を納入することが決定したことを発表した。

 米国エネルギー省傘下の研究機関である Sandia National Laboratories は国家の安全保障や、エネルギー、環境技術、経済競争力に関する R&D を担当する機関であり、ガリウムナイトライド系の化合物半導体研究に関しては世界でも最高レベルの研究機関。

 今回、同研究機関が 2014 年に続いて2台目となる大陽日酸社製 MOCVD(型式:SR-4000HT)の採用を決定した。この装置はパワーエレクトロニクスおよび UV オプトエレクトロニクスのデバイス開発促進に必須となる高品質なアルミニウムガリウムナイトライド(AlGaN)やアルミニウムナイトライド(AIN)の製造に用いられる。

 同研究機関に再度、装置が採用されたことは、大陽日酸の MOCVD 装置が高度で安定した性能を持つ装置であることが評価されたものとして、同研究機関の先進的な技術開発を今後も継続的に支援することで、MOCVD の優位性をさらに高めていくとしている。

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