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ギガフォトン、台湾の国立研究機関へKrFエキシマレーザーを納入

ICパッケージ技術研究用に、加工用途向けエキシマレーザー「G300K」を採用

 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は、加工用途向けKrFエキシマレーザー「G300K」が、台湾の国家実験研究院のプロジェクトに採用され、12/27、国立成功大学に納入したと発表した。

 台湾の国家実験研究院(NARLabos)の参画機関である国立成功大学では、国家プロジェクトとして、エキシマレーザーを使ったICパッケージング技術に関する研究を進めている。今回の採用は、微細アブレーションを始めとする「加工の最適化」をコンセプトとして開発されたギガフォトンのKrFレーザー「G300K」が、この研究に最適と判断され、実現した。

 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの浦中克己氏は「半導体リソグラフィ以外の分野で展開するGIGANEXシリーズのG300Kは、ギガフォトンが長年培った99%以上の高稼働率、高出力を実現しているリソグラフィ用光源技術をベースに開発しており、この度のプロジェクトに貢献すると確信しています。幅広いお客様へソリューションを提供できるGIGANEXシリーズが、今後も新しいアプリケーションに適用され、次世代の産業界の発展に貢献することを期待しています」と述べている。

ギガフォトンについて

 ギガフォトンは、半導体リソグラフィ用DUV光源の開発・製造のリーディングカンパニーとして、設立当初から最先端技術を駆使した多くのソリューションを世界の半導体メーカーへ提供する。また、EUV光源およびリソグラフィ以外の分野に向けたDUV光源の開発にも取り組む。ギガフォトンウェブサイト:www.gigaphoton.com

G300Kのニュースリリース

GIGANEXシリーズ

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