2024年3月27日 / 最終更新日時 : 2024年3月29日 ガスペディア 半導体 ギガフォトンが最新ArF液浸光源機種「GT80A」を出荷 半導体リソグラフィの最先端ノード量産で高い生産性をサポート 半導体リソグラフィ用光源メーカーのギガフォトンは2024年3月27日、新型のArF液浸露光装置用光源「GT80A」を出荷したと発表した。 最先端デバイス製造 […]
2022年2月17日 / 最終更新日時 : 2022年2月17日 ガスペディア 半導体 ギガフォトン、台湾の国立研究機関へKrFエキシマレーザーを納入 ICパッケージ技術研究用に、加工用途向けエキシマレーザー「G300K」を採用 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、加工用途向けKrFエキ […]
