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UR26K-CCD 外観
2023年6月30日 / 最終更新日時 : 2023年6月30日 ガスペディア 半導体

大陽日酸 生産効率を50%向上させたGaN(窒化ガリウム)系量産型MOCVD装置の販売開始

「UR26K-CCD」、基板自動搬送システムと一体型ドライ洗浄システムを追加  大陽日酸は、従来機に比べ、およそ 50%の大幅な生産効率向上を実現した、GaN(窒化ガリウム)系量産型 MOCVD 装置※“UR26K-CC […]

MOCVD装置「FR2000-OX」
2022年4月20日 / 最終更新日時 : 2022年4月20日 ガスペディア イノベーション

大陽日酸が東京農工大学へ 酸化ガリウム(Ga2O3)用 MOCVD 装置を設置、稼働開始

 大陽日酸は、国立大学法人東京農工大学の熊谷義直教授の研究室に研究開発用 MOCVD装置を設置した。設置されたのは型式FR2000-OXのMOCVD装置で、処理能力は2 インチ径 1 枚。β-Ga2O3基板上への高性能電 […]

大陽日酸MOCVD
2022年4月7日 / 最終更新日時 : 2022年4月7日 ガスペディア イノベーション

理化学研究所と共同で大陽日酸製MOCVD装置でのAlGaN 系深紫外LED 226nm の EL 発光を実証

 大陽日酸は、理化学研究所の平山秀樹氏らとともに、大陽日酸製MOCVD 装置を用いて、短波長 226nm で AlGaN(窒化アルミニウムガリウム)系深紫外 LED が EL発光することを実証した。  AlGaN 系深紫 […]

2022年1月19日 / 最終更新日時 : 2022年1月19日 ガスペディア イノベーション

大陽日酸と米国ノースカロライナ州立大学が、MOCVD 装置による共同研究で合意

 大陽日酸は、米国の North Carolina State University(ノースカロライナ州立大学)に1台目となる同社製 MOCVD 装置を納入し 、3年間の共同研究契約を締結した。  米国ノースカロライナ州 […]

2021年5月21日 / 最終更新日時 : 2021年5月29日 ガスペディア 半導体

米国の政府系研究機関で2台目となる大陽日酸社製MOCVD装置の採用決定

 大陽日酸は、米国の政府系研究機関である Sandia National Laboratories に、2台目となる同社製 MOCVD 装置を納入することが決定したことを発表した。  米国エネルギー省傘下の研究機関である […]

減圧 MOVPE 装置の概略図
2021年4月1日 / 最終更新日時 : 2021年4月7日 ガスペディア イノベーション

東京農工大、気相成長(株)、大陽日酸が共同でβ型酸化ガリウム結晶の有機金属気相成長に成功

次世代パワーデバイスによる脱炭素社会実現を加速  国立大学法人東京農工大学(学長:千葉 一裕)大学院工学研究院応用化学部門の熊谷 義直教授、後藤健助教らは、気相成長(株)の町田 英明博士(代表取締役)、石川 真人博士、お […]

2020年12月10日 / 最終更新日時 : 2020年12月11日 ガスペディア 半導体

大陽日酸の紫外発光デバイス用と先端デバイス用MOCVDが日本表面真空学会の産業賞を受賞

 大陽日酸が開発した AlN、GaN などの紫外発光デバイス用および先端デバイス用 MOCVDが公益社団法人日本表面真空学会の「令和2年度産業賞」を受賞した。同賞は日本表面真空学会が、表面・真空科学関連産業の進歩発展に大 […]

2016年3月16日 / 最終更新日時 : 2019年2月24日 ガスペディア イノベーション

カリフォルニア大学サンタバーバラ校のSolid State Lighting & Energy Electronics CenterへMOCVD装置反応炉を納入

2015年10月27日 / 最終更新日時 : 2019年2月24日 ガスペディア イノベーション

大陽日酸、名古屋大学へMOCVD 装置納入

2014年11月4日 / 最終更新日時 : 2019年3月21日 ガスペディア 半導体

台湾のLED製造大手Epistar Corporationに大陽日酸製MOCVD装置を納入

 大陽日酸は、LEDの世界トップメーカである台湾のEpistar Corporationに、量産型MOCVD装置を納入した。  Epistar Corporationに今回納入したMOCVD装置『UR25K』は、大陽日酸 […]

2014年10月8日 / 最終更新日時 : 2019年3月23日 ガスペディア イノベーション

米国政府系研究機関Sandia National Laboratoriesに大陽日酸製MOCVD装置納入

 大陽日酸と米国子会社の Matheson Tri-Gas, Inc.(社長 スコット・カルマン、以下 MTG)は米国の政府系研究機関である Sandia National Laboratories に大陽日酸製の MO […]

2013年10月9日 / 最終更新日時 : 2019年3月24日 ガスペディア イノベーション

大陽日酸、名古屋工業大学と共同研究契約締結

 大陽日酸は、国立大学法人名古屋工業大学と2013年10月1日付で「大口径 Si 基板上の GaN の成長技術及びデバイス評価技術に関する研究」の共同研究契約を締結した。本共同研究は、大陽日酸が名古屋工業大学の「窒化物半 […]

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