カリフォルニア大学サンタバーバラ校のSolid State Lighting & Energy Electronics CenterへMOCVD装置反応炉を納入

 大陽日酸と米国子会社のMatheson Tri-Gas, Inc.は、2014年にノーベル物理学賞を受賞した米国カリフォルニア大学サンタバーバラ校(以下、UCSB)の中村修二教授と、同校Steven DenBaars教授が共同ディレクターを務める研究機関Solid State Lighting & Energy Electronics Center(以下、SSLEEC)に研究開発用MOCVD装置「SR4000-HT」を納入した。納入時期は2015年10月。

 中村修二教授及びSteven DenBaars教授が共同ディレクターを務めるSSLEECは、ワイドバンドギャップ半導体を用いた固体照明やエネルギー効率の高いパワー・スイッチングデバイスの研究開発を目的とした、基幹産業の最前線を行く企業や研究機関等とUCSBのコラボレーションセンター。
 SSLEECに納入したMOCVD装置反応炉は、40kPa以上の圧力且つ高温下で、高アルミニウム組成デバイスの高速成長が可能であり、深紫外発光ダイオード(UVCLED)開発用に特化したもの。SSLEECではこのMOCVD装置反応炉によってUVCLEDの化合物半導体デバイス開発が進むものと期待している。