大陽日酸と名古屋工業大学の次世代量産型MOCVD装置開発がNEDO事業に採択

機械学習による解析・予測の技術を新たに導入

　大陽日酸は、名古屋工業大学・窒化物半導体マルチビジネス創生センターと共同で、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の2023 年度「脱炭素社会実現に向けた省エネルギー技術の研究開発・社会実装促進プログラム」追加公募に対して、「生産性に優れたSi 基板上GaN 系パワー半導体向けMOCVD 装置の開発」を提案し、採択された。

　本提案では、脱炭素社会への貢献を目指し、高い電気エネルギー変換効率を持つGaN/Si エピ基板を安定的に供給可能なMOCVD装置を開発する。名古屋工業大学との連携を通じて、表面欠陥密度を低減する技術と、量産性に優れた結晶成長技術の要素検討を行う。さらに、機械学習による解析・予測の技術を新たに導入し、これにより省エネルギー効果を高めた世界最大級の次世代量産型MOCVD装置の完成を目指す。