2013年10月2日 / 最終更新日時 : 2019年3月24日 ガスペディア イノベーション 岩谷産業、新コンセプトによる静電気除去システム開発「エリア除電システム」でクリーンルームの消費電力を大幅低減 岩谷産業は、電場(電界)を利用したエリア除電システムを開発し、販売を開始した。この技術は、これまでのワーク(製品)に帯びる静電気を除去するという概念を払拭、作業空間自体を、静電気を発生させない空間にするという画期的なも […]
2013年5月20日 / 最終更新日時 : 2019年3月31日 ガスペディア 半導体 世界初、大面積 8 インチ SiC on Si基板の量産技術開発に成功し生産販売開始 エア・ウォーターは、パワー半導体や LED（発光ダイオード）向け下地基板として、世界で初めて高品質な SiC（シリコンカーバイト）基板を最大８インチまで生産できる技術を開発し、量産体制を整えた。これは安価な Si（シリ […]
2013年4月2日 / 最終更新日時 : 2019年3月31日 ガスペディア Ｍ＆Ａ エア・ウォーター、電気・電子材料専門商社の阿部電材へ資本参加 エア・ウォーターは、2013 年 4 月 1 日付で、電気・電子材料の専門商社である阿部電材へ資本参加した。出資比率は発行済株式の90％（エア・ウォーターグループ）。今後、阿部電材が有する自動車・電動機向けを中心とした […]
2008年12月3日 / 最終更新日時 : 2021年1月10日 産業ガス・医療ガス 半導体 岩谷産業と京大、プラズマレスで高速異方性エッチングや平坦化加工技術を開発 京都大学松尾准教授と岩谷産業は共同で、プラズマレスで半導体やMEMS向け高速異方性エッチングや平坦化加工を実現する「ClF3ガスクラスターエッチング」技術を開発した。 ■本技術の原理 本技術は、ガスを事前に放電させず […]
